60 кГц высокотемпературная вихревая ультразвуковая система распылительного покрытия

Ультразвуковая система высокотемпературного вихревого покрытия 60 кГц

Описание:

Наша высокотемпературная система ультразвукового опрыскивания на 60 кГц включает в себя ультразвуковое распыляющее сопла на 60 кГц с встроенной охлаждающей структурой.Пиезоэлектрический преобразователь генерирует высокочастотные вибрации, превращая жидкие прекурсоры в мелкие микрокаплиНизкоскоростной вихреобразующий газ образует стабильное коническое поле распыления без сильного воздействия на субстраты.

Регулятор охлаждения с соплами изолирует тепло от высокотемпературной стадии нагрева, которая может достигать до 500 ~ 600 °C.Эта конструкция позволяет сушить и термически разлагать растворы прекурсоров непосредственно на поверхности субстрата..

По сравнению с обычными ультразвуковыми насосами для распыления, вихревой тип обеспечивает более широкую эффективную ширину распыления и превосходную однородность покрытия.Мягкий туман значительно уменьшает перераспыление и улучшает использование материала свыше 90%Ультразвуковая самоочищающаяся производительность минимизирует засорение сопла для суспензий, солей и солевых растворов.

Система, оснащенная высокоточным модулем подачи жидкости, независимым блоком управления газом и серводвигательной платформой XYZ, поддерживает программируемые пути покрытия.Он может откладывать тонкие пленки от десятков нанометров до микрометров.

Типичные применения включают катализаторные слои топливных элементов и покрытие ПЭМ, перовскитные солнечные элементы, TCO и оксидные пленки металлов, функциональные покрытия MEMS и пластин, изготовление датчиков нанопленки.

Параметры:

Преимущества:

1. Единообразное покрытие с вихревым распылением, более широкая эффективная ширина распыления в одном проходе
2. Конструкция, совместимая с высокой температурой.
3Высокое использование материалов более 90%, экономия дорогостоящих прекурсорных решений
4Ультразвуковое самоочищение, низкий риск засорения сопла, совместимо с суспензиями, солями и прекурсорами соли
5. Мягкий туман с небольшим воздействием, без повреждения пористых субстратов или предварительно сформированных тонких пленок
6. Точный контроль толщины пленки. Многослойное осаждение для производства тонких пленок от нанометра до микрометра
7. низкое давление вихреобразующий газ, минимальный отскок капель и низкий перераспыление

Ультразвуковая система высокотемпературного вихревого покрытия 60 кГц